“秦总，有这笔钱就足够了，一年之内，我们就能搞出193纳米的arf光刻机，如果使用多重曝光技术，这种光刻机可以一直用到90纳米，但是，在下一代65纳米的工艺节点上，这种光刻机就被限制住了。”

　　 大部分人都知道，制造芯片会被光刻机卡脖子，但是究竟怎么卡脖子，并不是很清楚。

　　 制造芯片，本质上就是在硅片上刻蚀电路，经过多年发展，光刻法已经彻底成熟了，这就和照相机一样，在硅片上抹一层光刻胶，然后用光刻机把对应的光刻胶烧掉，就像是照相机底片感光一样，从而把电路图做出来。

　　 没错，光刻机只是像是复印机一样，把电路图复制在硅片上，接下来还会有刻蚀机，根据光刻出来的电路图，在硅片上用化学手段做出mos管来，从而做出一个个电路。

　　 光刻是最重要的一步，光刻机的技术进步，也会推动芯片制造工艺的进步。

　　 而光刻机之中，光源的波长很重要。

　　 早些年使用的是紫外光源，从波长436纳米的g线到波长365纳米的i线，发展到了深紫外光源，也就是波长248纳米的krf和波长193纳米的arf，到这里，技术止步了！

　　 “目前193纳米的光源，使用多次曝光技术，可以把工艺推进到90纳米，几乎所有人都认为，193纳米的光刻机，是无法延伸到65纳米技术节点的，如果继续改进制程，那就需要在光源上做手脚。”

　　 别看徐教授这几年在造光盘，但是，他从来就没有离开过自己真正喜爱的光刻机！一直都在关注光刻机技术的进步！

　　 己方现在可以造arf光源的光刻机，接下来的技术路线怎么解决？

　　 光刻机的波长越小，就代表着光源越细，光刻电路也会越细，芯片的技术制程才能推进一大步。

　　 “目前，行业内一共有两种技术路线，尼康、佳能这些老牌公司，主张使用157纳米的氟气准分子激光作为光源，全新的euv llc联盟主张使用极紫外激光器技术，也就是euv光源，直接把技术路线迭代到十纳米以下。但是……”

　　 这两种技术路线，都有严重缺陷！

　　 波长越短的光，越容易被吸收！157纳米的光源，会被大多数材料强烈吸收，以至于无法到达芯片上！只有二氟化钙研磨的镜头可以勉强使用，但是这种材料做光学镜头，质量太差，寿命也短。

　　 至于euv光源，那就不用折射原理了，直接加反射镜片，解决了透镜吸收光源的问题，但是，这种光刻机属于全新的产品，研发很难，而且，极紫外光的产生很困难，需要耗费大量的电力。

　　 两种技术路线，都有很大的问题，接下来用什么技术路线，非常关键！

　　 “嗯，我们开辟新的赛道。”秦川说道：“我们在arf光刻机的基础上，镜头和光源之间加一层水，通过水的折射作用，把193纳米光源降低到134纳米。”

　　 什么？

　　 徐教授惊呆了，倪老也惊呆了。

　　 这不是开玩笑吗？在精密的光刻机镜头上，加一层水？

　　 万一这层水要是漏了，岂不是会让光刻机坏掉？万一水里有一个气泡，岂不是会改变光线的路径，从而导致整个硅片都报废？

　　 193纳米以下光源技术，困扰了整个光刻机行业很多年！

　　 尼康、佳能这些光刻机巨头，坚定地走157纳米光源道路，结果……技术路线错误，耗费巨资研制出来的157纳米光刻机，没得到一个订单！这些巨头也因此而衰落。

　　 后世大名鼎鼎的asml，就是因为押宝浸润式光刻机，取得了圆满成功，赢家通吃，彻底占领光刻机市场！

　　 秦川不懂造芯片，但是基本的路线还是知道的。而且，他还知道其中一个关键人物：林本坚！

　　 林本坚，湾湾人，1970年从湾湾毕业之后，就去了俄亥俄州立大学读研，老师就是光刻机领域里的技术泰斗：帕特里克-怀特博士。在导师的带领下，他们团队研制出来了深紫外光源，从248纳米进步到了193纳米。

　　 林本坚毕业后，先加入了ibm公司，之后又在ibm旗下的领创公司工作，继续捣鼓光刻机技术，当光刻机技术在193纳米光源面前停滞不前的时候，他提出来了浸润式技术，也就是把光源和镜头泡在水里，从而将光源波长缩短。

　　 可惜，他四处碰壁，ibm不要，之后他新加入的台积电也不要，他只能跑去给默默无名的asml推销，然后，asml就成功了！

　　 嗯，这个人也必须要弄到手，如果他不来，就干掉他，总之，这条技术路线，不能让其他光刻机厂商走，尤其是asml！

　　 “秦总，秦总！”

　　 秦川这才发现，自己刚刚走思了！

　　 徐教授深深地呼吸了一口气：“秦总，您坚持走这条技术路线？”

　　 “没错，详细我，这条路线是最正确的，等到这种光刻机研发成功，我们芯片制造到45纳米都不用愁了，再往后，我们就可以研发euv光刻机！”

　　 只有十几纳米波长的极紫外光，是刻蚀十纳米以下芯片最合适的光刻机，不过……技术难度也相当大，得用十年以上的时间来研发。而浸润式光刻机，就是最好的过渡产品！

　　 “好！”

　　 秦总别的本事没有，指导技术路线方面，从来没错过，哪怕是跨专业指导！

　　 既然秦总坚持，那就一定有他的道理，只要听秦总的就可以了！

　　 “嗯，徐教授，加油，我们的电子技术能否成为世界第一，就看你的了！”

　　 要么不做，要做就做到世界第一！

　　 徐教授点头：“好！”他也是因为这个，在接到召唤之后，才会立刻赶来的原因，既然要搞，就是瞄准世界第一的！

　　 “组建团队，选择工作地点这些，有需要集团帮助的，随时开口！咱们会全力支持，让你们安心工作。”

　　 “嗯，我会去大学，把之前的团队找来，工作地点，在大学附近找个地方就行……”